Преобразователь для ультрачистых сред WU-20, WU-25 и WU-26
Преобразователь для ультрочистых сред WU-20, WU-25 и WU-26 применяются в системах специального и массового газоснабжения, а также в газоразрядных панелях для производителей оригинального оборудования и на производстве полупроводников, плоских дисплеев и фотоэлектрических устройств.
Особенности
Серия WU-2x объединяет в себе современные технологии цифровых преобразователей с аналоговыми выходными сигналами, чтобы получить самые надежные и точные измерения давления, которых требует сегодняшний рынок.
Показания давления на базе реального вакуума и электронные средства экранирования помех и подавления шумов сигнала гарантируют высокую точность и превосходную долговременную стабильность измерений давления.
Активная температурная компенсация снижает влияние изменений температуры на преобразователь, позволяя безопасно работать даже в условиях больших колебаний температуры, например, при эффекте Джоуля – Томсона в случае расширения газа.
Преимущества
- Надежность. Преобразователи WU-25 (проходной) и WU-26 (для поверхностного монтажа) специально разработаны стойкими к напряжениям перекоса, часто возникающим во время монтажа. Специальная конструкция тонкопленочного датчика исключает риск отказа датчика из-за нагрузок на технологическом соединении или сварных швах.
- Гибкость. Преобразователь WU-2x готов к установке в системах внутри или снаружи помещений, а также в невоспламеняемых или в потенциально воспламеняемых зонах. Герметизированная конструкция WU-2x не допускает попадания влаги внутрь. Разрешения на применение в невоспламеняемых и потенциально воспламеняемых средах обеспечивают высокий уровень безопасности продукции. Устройства для класса температуры T6 отвечают высоким требованиям к измеряемым средам с низкой, спонтанно действующей температурой воспламенения (фосфину (PH3) и силану (SiH4)).
- Компактность. WU-2x занимает мало места и является самым компактным преобразователем UHP на рынке. Поэтому он оптимально подходит для монтажа в ограниченном монтажном пространстве, что делает возможным дооснащение уже существующих установок.
| Параметры | Модель WU-20, WU-25, WU-26 | Модель WU-20, WU-25 | |||
| Диапазон измерений (бар) | 2,4,7,11,17 | 25,36,70,100,145,225,360 | |||
| Предел давления перегрузки (бар) | 8, 8,14,20,32 | 50,80,150,200,320,500,720 | |||
| Принцип измерения | Тонкопленочная измерительная ячейка | ||||
| Технологическое соединение | 316L VIM/VAR | ||||
| Тонкопленочная измерительная ячейка | 2.4711 / UNS R30003 | ||||
| Испытание частицами | частицы ≤ 0,1 мкм, 0,1 частицы / фут3 согласно SEMI E49.8 | ||||
| Испытание гелием на герметичность | < 1 x 10-9 мбар л/с (атм. станд. куб. см/с) согласно SEMI F1 | ||||
| Обработка поверхности | Электрополирование, типич. Ra ≤ 0,13 мкм (RA 5); макс. Ra ≤ 0,18 мкм (RA 7) согласно SEMI F19 | ||||
| Мертвый объем | WU-20 < 1,5 см3, WU-25 < 1 см3, WU-26 < 1 см3 | ||||
| Допустимые среды | Специальный газ, пар, жидкость | ||||
| Подача питания U+ | пост. ток 10 ... 31 В с выходным сигналом пост. тока 0 ... 5 В / 4 ... 20 мА пост. ток 14 ... 31 В с выходным сигналом пост. тока 0 ... 10 В | ||||
| Выходные сигналы и макс. нагрузка |
4 ... 20 мА, 2-провод., RA ≤ (U+ – 10 В) / 0,02 А пост. ток 0 ... 5 В, 3-провод., RA > 5 кОм пост. ток 0 ... 10 В, 3-провод., RA > 10 кОм |
||||
| Мощность Pi | 1 Вт | ||||
| Регулировка нулевой точки |
-3,5 ... +3,5 % от интервала (по потенциометру), выход по току -2 ... +3,5 % от интервала (по потенциометру), выход по напряжению |
||||
| Время отклика (10 ... 90 %) | ≤ 300 мс | ||||
| Напряжение изоляции | пост. ток 500 В | ||||
| Точность |
≤ 0,15 % от интервала ( ≤ 0,4 % от интервала с диапазонами измерений ≤ 2 бар) RSS (квадратного корня суммы квадратов) ≤ 0,3 % от интервала 1) ( ≤ 0,6 % от интервала 1) с диапазонами измерений ≤ 2 бар) согласно IEC 61298-2 |
||||
| Гистерезис | ≤ 0,14 % от интервала | ||||
| Невоспроизводимость | ≤ 0,12 % от интервала | ||||
| Стабильность измерений (в год) |
≤ 0,25 % от интервала (тип.), при эталонных условиях ( ≤ 0,4 % от интервала с диапазонами измерений ≤ 2 бар) |
||||
| Допустимые диапазоны температур | Разрешение не выдано | T4 | T5 | T6 | |
|
-20 ... +100C | -20 ... +85C | -20 ... +60C | -20 ... +40C | |
|
-20 ... +85C | -20 ... +85C | -20 ... +60C | -20 ... +40C | |
|
-40 ... +100C | -40 ... +100C | -40 ... +100C | -40 ... +100C | |
| Номинальный диапазон температур | -20 ... +80C (с активной компенсацией) | ||||
| Температурные коэффициенты в номинальном диапазоне температур (с активной компенсацией) | |||||
|
≤ 0,1 % от интервала / 10 К | ||||
|
≤ 0,15 % от интервала / 10 К | ||||
| Соответствие директиве RoHS | Да (не с байонетным соединением) | ||||
| Соответствие стандартам ЕС | |||||
|
97/23/EC | ||||
|
2004/108/EC, EN 61326-1, излучение помех (группа 1, класс B) и помехоустойчивость (промышленное применение) | ||||
|
94/9/EC | ||||
| Тип защиты от воспламенения |
ATEX: II 3G Ex nA nL IIC T4/T5/T6 X (для преобразователей с маркировкой «Ex») FM: Невоспламеняемые для применения в классе I, разд. 2, группы A, B, C, D, и классе I, зона 2, группа IIC, взрывоопасные помещения (классы опасности) |
||||
| Место монтажа и упаковки | Чистое помещение класса 5 согласно ISO 14644 | ||||
| Упаковка | Двойная упаковка согласно SEMI E49.6 | ||||
| Ударопрочность | 500 g (1,5 мс) по IEC 60068-2-27 | ||||
| Виброустойчивость | 0,35 мм (10 ... 58 Гц) / 5 g (58,1 ... 2000 Гц) по IEC 60068-2-6 | ||||
| Электрическая безопасность | |||||
|
S+ относительно U- | ||||
|
U+ относительно U- | ||||
| Вес | Ок. 0,1 кг | ||||
